控制器簡介：

硬體簡介：

a. 人機介面：作為人與控制器的控制與溝通介面。一方面可

顯示系統目前的狀況，同時亦可接受操作人員下

達的指令，作為系統運作的確認。

b. PLC：整體控制的處理中心。

c. 電磁閥：控制氣動閥的開閉。可依需求強制開啟電磁閥

d. 警急遮斷鈕：系統發生異常時按此鈕關閉盤面氣動閥。

e. LED 指示燈：以亮燈表示系統目前的狀態。

系統正常 ( Normal )

存量不足 ( Low Quantity )

警示警報 ( Warning )

停氣警報 ( Shutdown )

f. 蜂鳴器：系統發生異常時警鳴。

依警報得設定可分別傳出兩種不同的警報音訊

g. 紫/紅外線火燄感知器：當感測到火災發生時作動，將訊

息傳至PLC 處理。

h. 差壓設定開關：當箱體與大氣壓之差壓未達設定值動作，

將訊息傳至PLC 處理。

i. 差壓計：顯示箱體與大氣壓之差壓。

j. 繼電器：依電路設計可作為控制或接點之輸出。

k. 電源供應器：因控制迴路所使用之電源為DC 24V，故需

Power Supply 做為轉換。

l. 溫度開關：當感測到箱體溫度高於設定值時，將訊息傳至

PLC 處理。

 系統功能介紹：

換裝鋼瓶Cylinder Exchange：

    以自動流程以及人機介面訊息的告知，防止人為的疏忽、達到管內的潔淨以利鋼瓶的更換。

維修吹淨Panel Purge：

    以自動流程以及人機介面訊息的告知，防止人為的疏忽、達到管內的潔淨以利閥件或其他組件的更換。

主管路吹淨Line Purge：

    以自動流程以及人機介面訊息的告知，防止人為的疏忽、達到供氣主管路內的潔淨以利設備供氣前或管

路移除前的準備。

自動切換：

    利用壓力/重量的設定自動判斷切換使用側，以防止供氣的中斷。

手動模式：

    當設備異常時自動操作無法正常執行，或特殊狀況必須手動開啟氣動閥時，即可採用手動模式強制閥的開閉。

(註：唯對此系統深入瞭解人員方可操作。且該操作側必須為IDLE 狀態下方可操作)

密碼設定：

    防止外界人員不當的操作而造成不必要的傷害。

正/負壓持壓測漏：

    設備可自行針對管路保正壓的方式，偵測是否有洩漏情形(此階段於更換新瓶後針對鋼瓶接頭與Pigtail 銜接的測漏)。保負壓的方式(此階段於拆換舊瓶時針對鋼瓶閥是否確實關斷的偵測) 。閥件動作次數記錄：

    設備可自行針對閥件的開閉次數做計算累計，一般氣動閥的使用壽命為開閉次數而定的，故以此功能可了解閥件壽命的概況。

BSGS 換瓶動作次數記錄：

    設備可自行針對更換鋼瓶的次數做計算累計，可方便查尋BSGS 的換瓶率。

設備警報歷史記錄表：

    設備可自行記錄所發生過的警報記錄，以利查詢設備異常的發生原因。

設備操作歷史記錄表：

    設備可自行記錄人員操作記錄，以利查詢設備是否有人員誤操作，以避免異常的發生。

供氣壓/鋼瓶殘量趨勢圖：

    以線性表示供氣壓力值以及鋼瓶殘量，便於察看供氣穩定與否以及鋼瓶的使用狀況。

壓力器與磅秤零值補正：

    因壓力傳輸器與磅秤的零點對應值會隨著周遭的各種因素而有所飄移，故以數值補正的方式校正顯示的壓

客戶留言板：

    以手寫方式可直接於畫面上塗鴉便於操作人員對其他人員的告示。

客戶化警報值設定：

    人性化的設計便於警報的需求。

客戶化參數值設定：

    人性化的設計便於供氣壓的需求。

系统图：

AV1 (L/R) 左/右側 警急遮斷氣動閥

新奥太阳能BSGS 操作手册

AV2 (L/R) 左/右側 高壓隔離氣動閥

AV3 (L/R) 左/右側 低壓隔離氣動閥

排放管路區域

AV4 (L/R) 左/右側 高壓排放氣動閥

AV5 (L/R) 左/右側 低壓排放氣動閥

AV6 真空產生氣動閥，控制G-N2 進氣驅動真空產生器

吹淨管路區域

AV7 (L/R) 左/右側 氮氣吹淨氣動閥，控制P-N2 進入主管路壓力感測器

PT1 (L/R) 左/右側 鋼瓶端壓力值(一次側壓)

PT2 (L/R) 左/右側 輸出端壓力值(二次側壓)

PT3 排放管路壓力值

PT4 吹淨氮氣供給壓力值與N2 高壓測漏供給壓力值

硅烷钢瓶更换步骤

1.排尽特气Vent Special Gas

   关闭钢瓶阀门,关闭AV3, 打开真空发生器, 打开AV5,从低压端排   净管路内残余气体,大致30秒.

2.保负压测漏 Security vacuum waste detection

   关闭AV5,AV2大概30分钟,保负压测漏,看钢瓶阀是否关紧.

3.前段吹扫  pre-purge

   打开低压PN2,进行管路吹扫.打开AV7,打开AV4从高压端抽,边          抽边吹扫,持续大概30秒.关闭AV7,然后冲入氮气,再排净,重复大概     50~100次左右,关闭AV4,AV1,

4.更换钢瓶  Cylinder Exchange

   关闭AV1N,打开AV7,更换钢瓶,

5.排放废弃  Vent Gas

   关闭AV7,打开AV1,AV4,从高压端抽净管路内气体,

6.保负压测漏 Pual Positive for Waste Detection

    关闭AV4,保负压测漏,大致30秒

7.高压测漏  High-pressure Waste Detection

关闭AV1,打开AV7,高压PN2,AV2N,冲入氮气,压力为实气的1.1.倍关闭AV2N,AV7,保压至少1小时

8.后段吹扫 Post –purge

打开AV4,AV1,AV7,从高压端抽净气体,打开AV1N,AV7,冲入低压PN2,进行吹扫,大概50次

9.工艺气体吹扫  Process Gas Purge

    关闭AV7,打开AV4,抽净氮气,关闭AV4,打开钢瓶阀门,冲入工艺气体, 然后关闭钢瓶阀门,保压1小时,看看钢瓶阀门是否关闭.实气排放时从低压端排放,打开AV2,AV5排放.

10.系统准备就绪 System standby

    将系统设为Standby状态,随时自动切换.

11.系统供气   System Supply

 紧急切断程序：

  在正常供氣中，偶爾會發生一些緊急事故，例如火警、地震、氣體洩漏或壓力異常等等。此時應該立即停止危險性氣體繼續供應，以避免災害擴大。 因此；本系統設計有現場/遠距緊急關斷控制功能(Local / Remote Emergency Shut-Off)。

    現場緊急關斷  ( Local ESO )

當緊急狀況發生時，操作人員若正在供氣設備附近，可就近按下控制器 上的紅色緊急關斷按鈕開關。其為壓按鎖定順旋回復式設計，並設有誤觸保 護環。按下此按鈕後，系統內所有的控制閥將立即關閉，裝置於鋼瓶上的氣瓶閥關斷裝置也將立刻關閉。此時畫面及燈號將顯示停止供氣訊息(Shutdown)。  此一緊急關斷操作邏輯為第一優先控制，無論系統正處於任何模式均可 立即關閉系統。 當狀況解除後，必須先將該緊急關斷按鈕開關依順時鐘方向轉動，令其 彈回原來位置再按下畫面右下角的警報復歸鍵將系統恢復至待命模式。

 

     遠距緊急關斷   ( Remote ESO )

     當緊急狀況發生時，可能並無操作人員在供氣設備附近，或無法接近設 備，本系統並有遠距關斷控制功能。利用乾式接點(Dry Contact)的電氣迴路 與遠端監控系統連結。

   ＊其對於系統的關斷作業，與控制邏輯皆與現場緊急關斷開關一致。系統復歸時亦應先將遠端輸出訊號恢復後，才能將本系統復歸至待命狀態。

 緊急關斷啟動

     系統將自動關閉所有的電磁閥，氣動閥與鋼瓶閥自動關閉器因電磁閥的關 閉，無 I.A 的供應而關閉。此時系統呈封閉狀態，無鋼瓶的供應與製程氣體的輸出。