• 气体按用量的大小可分为二种，用量较大的称为大宗气体，用量较小的称为特种气体。​
• 大宗气体有：氮气、氧气、氢气、氩气和氦气。其中氮气在整个工厂中用量最大，依据不同的质量需求，又分为普通氮气和工艺氮气。
• 大宗气体系统由供气系统和输送管道系统组成，其中供气系统又可细分为气源、纯化和品质监测等几个部分。通常在设计中将气源设置在独立于生产厂房（FAB）之外的气体站（Gas  Yard），而气体的纯化则往往在生产厂房内专门的纯化间（Purifier Room）中进行，这样使高纯气体的管线尽可能的短，既保证气体的品质，又节约成本。
• 经纯化后的大宗气体由管道从气体纯化间输送至辅道生产层（SubFAB）或生产车间的架空地板下，在这里形成配管网络，最后由二次配管系统（Hook-up）送至各用户点