适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。
该阀利用直接式隔膜结构,达到高气密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片阀基础上实现了小型化。
口径:1/4”~1/2”最高使用压力可达20.5Mpa 材质:SUS316L EP级处理
基本结构是由不锈钢(SUS316)本体(STAINLESS BODY)、前环(FRONT RING)、后环(BACK RING)与母螺母(NUT)4部分组成的。
口径:1/4” ~3/4” 最高使用压力16.2Mpa 使用温度范围:-196~350℃ EP级处理
基本结构是由不锈钢(SUS316)本体(STAINLESS BODY)、前环(FRONT RING)、后环(BACK RING)与母螺母(NUT)4部分组成的。
口径:1/4” ~3/4” 最高使用压力16.2Mpa 使用温度范围:-196~350℃ EP级处理
基本结构是由不锈钢(SUS316)本体(STAINLESS BODY)、前环(FRONT RING)、后环(BACK RING)与母螺母(NUT)4部分组成的。
口径:1/4” ~3/4” 最高使用压力16.2Mpa 使用温度范围:-196~350℃ EP级处理